製品カタログ『半導体業界向け特殊セラミック部品　窒化アルミ、イットリア』

当社は、半導体製造の分野における、
熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。

窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。
イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。
溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。

【特長】
■窒化アルミは、半導体装置向け、検査用ダミーウエハ向けの他、
　エッチング工程向け、CVD工程向けをご用意
■イットリアは、φ330までの焼結材部品を提供可能。
　溶射したときは気孔率1％以下を実現できます

※詳しくは、PDFダウンロードよりカタログをご覧ください。
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