光波動場三次元顕微鏡『MINUK』

『MINUK』は、目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化できる
光波動場三次元顕微鏡です。

nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得可能。ワンショットで
深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム
表面の傷や欠陥の断面形状や三次元形状を可視化し数値化することができます。

高速で広範囲をマッピングし情報を得ることができるスティッチング機能に
より、観察したい場所を素早く見つけ、詳細情報を取得することが可能です。

【特長】
■nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
■1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
■フォーカス不要で高速測定が可能
■非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
■任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）