ExcimerUVオゾン洗浄改質装置

エキシマUVO3洗浄改質装置 高性能オゾン分解排気ユニット内蔵

波長172nmのエキシマUVランプを中心に用途・仕様に応じたカスタム製品のご提案をいたします。
シンプルなシステムと安全対策が特徴です。
UV洗浄改質は光のエネルギーに基づく光化学プロセスです。プロセスの要因として幾つかのパラメーターがありますが基本は照度(mW/cm2) x 時間(sec)に基づく総エネルギー(mJ/cm2)です。つまり強い照度で短い時間のプロセスと弱い照度で長い時間のプロセスは同じエネルギー量になります。従って、早いスループットが要求される工場向けの強い照度のエキシマUVランプを全ての用途で必要とする理由はないのです。照度が高いエキシマUVランプはランプ寿命が短くなることからランプ交換の費用がかさみます。また、照度を出すために電力も消費しそれに伴う熱も出るので照度を追求すると水冷構造が必要となり装置の構造が複雑かつコストもスペースも増大します。ランプ照度を抑えながら豊富な経験に基づく最適なシステム条件の確立により高性能なプロセスを実現しています。
ユーザーの立場に立ったランニングコストと性能を追求した画期的な製品を提供しています。皆様のお役に立ちましたら光栄です。