ガスフローセンサー
次世代タイプのガスフローセンサー
センシリオン社の全てのガスフローセンサーはパテント取得済みのCMOSens技術を用いています。シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ(MEMS)素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のC…
デジタル温湿度センサー
キャリブレーション済みのリニアデジタル出力が得られるシングルチップの相対湿度及び温度のマルチセンサモジュール
パテント取得済みのシリコン微細加工技術と産業用のCMOSプロセス技術の融合(CMOSensTMテクノロジー)が、センサの高い信頼性と優れた長期安定性を保証します。デバイスには相対湿度を測定する静電容量…
液体フローセンサー
ナノリッターまでの超微小液体流量の測定
最新のMEMS及びCMOSens技術により、毎分ナノリッターかた数十ミリリッターまで微小液体流量を、非接触にて高精度・高速に測定可能。
マスフローコントローラー
最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー
センシリオン社の全てのマスフローコントローラーはパテント取得済みのCMOSens 技術を用いています。 シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ(MEMS)素子と増幅器及びA/D変換回…
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