マスフローコントローラーセンシリオン

最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー

センシリオン社の全てのマスフローコントローラーはパテント取得済みのCMOSens 技術を用いています。
シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体化しています。デジタルでキャリブレートされ温度補正されたセンサ信号は直接CMOSensチップ上でPWM信号に変換され、バルブを制御する高速のアナログ制御回路で使用されます。この結果、非常に高精度、速い設定時間、広いダイナミック・レンジが実現されます。すべてのデバイスはNISTトレーサビリティーに基づき校正されています。

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基本情報マスフローコントローラー

＜SFC4000　マスフローコントローラー＞
【特徴】
●制御速度　＜100ms
●高精度　セットポイントの0.8％
●ダウンマウント、Swagelok、VCRまたはVOCフィッティング
●デジタルキャリブレーション＆温度補償

＜SFC3000　OEMマスフローコントローラー＞
【特徴】
●測定範囲：0～±100Pa、分解能±0.001pa/0.04pa
●応答時間：150ms
●繰り返し精度：±0.02％FS
●動作温度範囲　0～70℃
●電源：7～18VDC
●RS232C/SPIインターフェース

※その他詳細については、カタログをダウンロードください。

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納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	【用途】分析装置、バイオ、マイクロ化学、メディカル用途や各種プロセス制御、 OEM用途に最適。

カタログマスフローコントローラー

マスフローコントローラー【製品カタログ】

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取扱企業マスフローコントローラー

センシリオン株式会社

センシリオンは、効率・健康・安全性・快適性を向上させるセンサーとセンサーソリューションを専門とする世界有数のメーカーです。当社のセンサーは、さまざまな環境パラメータとフローを精密かつ確実に測定するために使われます。先進のセンサー技術で世界をよりスマートにすることを目標に掲げています。イノベーションのパイオニアとして、当社は自動車、工業、医療技術、家電市場の取引先やパートナーそれぞれの特定のニーズに対応するソリューションと、費用対効果の高い大量生産向けの高品質製品を開発しています。センシリオンではMEMS技術を応用したセンサー群を取り扱っております。温湿度センサー、液体フローセンサー、ガスフローセンサー、マスフローコントローラー、微差圧センサー、CO2センサー、PM2.5センサーといった幅広いセンサーを取り扱っています。