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クリーンルーム用 旋回流誘引型成層空調システム TCR-SWIT
省エネ・省CO2・省コストを実現し 高精度環境を構築します。
半導体製造用クリーンルームは超微細な精密加工を高い歩留まりで実現するために、温度・湿度・清浄度(微粒子、ガス状汚染物質)を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 TCR-SWITは、冷気は下降し…
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省エネ・省CO2・省コストを実現し 高精度環境を構築します。
半導体製造用クリーンルームは超微細な精密加工を高い歩留まりで実現するために、温度・湿度・清浄度(微粒子、ガス状汚染物質)を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 TCR-SWITは、冷気は下降し…
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