高砂熱学工業株式会社 ドライルーム技術
- 最終更新日:2020-11-10 16:52:26.0
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ドライルームを適正な機器構成と好適運転制御で省エネルギー・省コストで実現!
急増するリチウムイオンニ次電池や有機EL製造プロセスでは、空気中の水分が
阻害要因になるため、空気中の水分を除去した低露点雰囲気に管理された
ドライルームにて製造が行われています。
「WINDS」は、露点温度-60℃のドライエアを供給する独自の省エネルギー型
除湿機です。これを用いて業界トップクラスの省エネルギーを実現した
低露点のドライルームを提供。
また、電子デバイス製造装置やストッカーなどで超低露点環境が求められる場合には、
露点温度-100℃を供給できる除湿機「CDASS」を採用し超低露点環境を構築します。
【特長】
■ドライルームを省エネルギー、省コストで構築
■超低露点温度一100℃の環境も構築
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