半導体集積回路『ハードマスクブランクス』
電子線用・レーザー用レジストなどを塗布した半導体集積回路！
『ハードマスクブランクス』は、主に石英やソーダライムと言ったガラス 基板上に、クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成し、 感光性材料(電子線用、レーザー用レジストなど)を塗布した製品で…
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