半導体集積回路『ハードマスクブランクス』アルバック成膜

電子線用・レーザー用レジストなどを塗布した半導体集積回路！

『ハードマスクブランクス』は、主に石英やソーダライムと言ったガラス
基板上に、クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成し、
感光性材料(電子線用、レーザー用レジストなど)を塗布した製品です。

低反射クロムマスクブランクスとハーフトーン型位相シフトマスク
ブランクスがあり、リソグラフィー用原版として、LSIの製造に
用いられるマスクに使用されます。

【特長】
■クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成
■感光性材料を塗布した

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.ulcoat.co.jp/product_info/mb/

基本情報半導体集積回路『ハードマスクブランクス』

【関連製品】
■低反射クロム膜マスクブランクス
■ハーフトーン型位相シフトマスクブランクス

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■LSIの製造に用いられるマスク ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。