電子銃・イオン銃・X線用の直流高圧電源は、フューテックスにお任せ下さい。超高安定度、超低リップルを保証します!
【TFE電子銃電源】
複合電源としての高性能高圧電源です。例えば30kVのTFE電源の例ですと、加速電源のリップルノイズは2ppm、安定度5ppm/1hr と他社の性能を凌駕する性能です。
(ユニット構成)加速電源、フィラメント電源、抑制電源、引出電源
静電レンズ用電源、磁界レンズ用電源、制御用ソフトウェア等の制作も可能です。
【OEM製作にも対応!】
お客様のシステムに合わせたカスタマイズ、OEM製作が可能。荷電粒子ビーム応用システム・X線システムは、“電子光学系に合わせた電源システムを構築する”ことで始めて高分解能、高安定度が得られるというのが当社のポリシーです。当社は荷電粒子ビームに必要な電源を全てソリューションで提供可能です。その他、高圧電源を利用した装置のOEM製作や、高性能高圧バイポーラAMP、高速パルス電源などの特注品も承ります。
【時代のニーズに合った環境対応!】
当社の高圧電源は独自の空気絶縁構造を採用。SF6や絶縁オイルは不使用です。結果的にランニングコストを大幅に削減可能です。お客様のコンプライアンス経営を側面よりサポート致します。
・当社は電子・イオンビーム用電源専門メーカーです。
電子銃電源、イオン銃電源、FIB用電源、マイクロフォーカスX線用電源、その他特注電源各種に対応できます。半導体装置、理科学機器用に電源システムをソリューションで提供いたします。
・理科学機器のEMS事業(受託開発設計および製造)
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