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シンプルで使いやすく壊れにくい！インラインプロセスでの使用が可能
『EL-550』は、装置への組み込みを目的とした システムイン型オゾン水モニタです。 アナログ出力以外の機能を必要最小限に抑え、小型・低価格を実現。 設置場所の制約が少なくなるように、壁…
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インラインで正確にオゾン測定！最大20L/minまで対応する製品
『EG-610』は、充実した入・出力信号や通信ソフトにより、 各種システムに対応できるシステムイン型オゾンモニタです。 圧力補正・温度補正が標準装備されており、 圧力のかかるラインでも正確に…
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無人での長期運転にも適した製品！環境中の低濃度オゾンを測定可能
『MODEL1150』は、紫外線吸光式の環境用オゾン濃度計です。 1時間平均値と瞬間値アナログ出力、テレメーター出力及びRS-232C等の 機能を標準装備。0.000～0.500ppmの低濃度…
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一般産業、研究開発向け！MAX10ppmの高濃度オゾン水を安定生成
『OWM-10L10P』は、オゾン水濃度計内蔵、先止めにも 対応しているオゾン水生成装置です。 最大10L/minで10ppmのオゾン水を安定して生成。 紫外線式オゾン水濃度計を内蔵して…
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各種の実験用途向けに作られたオゾン水生成装置の5L/min25ppmタイプ！
『OWF-5L25P』は、外部制御にも対応している メタルフリー小型オゾン水生成装置です。 タッチパネルで設定したオゾン水濃度に自動制御。 先止めでの運転も可能。 高濃度オゾンの発生に…
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MAX10Lで20ppmのメタルフリーオゾン水を生成！カスタマイズ対応可能
『OWF-10L20P』は、接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適した クリーンなオゾン水を生成するメタルフリー小型オゾン水生成装置です。 小型のプロセス組込や、各種の実験用途向けに作られ…
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濃度～100ppm、流量～60L/minの幅広い適応範囲！多種多様な要求に対応
当社では、『半導体プロセス向けオゾン水生成装置のオーダーメイド製造』 を行っております。 半導体・FPD分野の製造プロセスにおける洗浄用途に活躍。 用途に応じたカスタマイズが可能なオゾン…
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4g/hのオゾンを発生できる！シンプルな空冷式オゾン発生ユニット
『ED-OG-APGU1』は、コンパクトで、ポンプなどをつなげばすぐに オゾンを発生させることが可能な組込用空冷オゾン発生器です。 オゾン発生能力は空気原料で2g/h、酸素原料では4g/h以上…
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オリジナルのオゾン曝露試験装置が構成できる！最大オゾン注入能力4g/h
『OX-4G』は、最大5m3のチャンバまで実績がある オゾン発生制御器 (曝露試験装置用)です。 各種の恒温槽やバイブロチャンバ、ウェザーメータ等に後付けで 接続することにより、複合的な試験…
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低濃度オゾンを発生、制御も可能！0～20ppm程度までの低濃度領域の製品
『ED-OG-L7』は、濃度計を接続すれば濃度制御が可能な 紫外線式低濃度オゾン発生器です。 0～20ppm程度の低濃度オゾンを安定して発生させるために、 紫外線ランプ式のオゾン発生体を採用…
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高耐久性、濃度の安定性に優れる！オゾン発生量15g/hと40g/hの2種をラインアップ
『ファボゾン15 FOG-RC15G』は、完全空冷式の手軽さと、水冷式の 高性能・高安定性を両立する産業用ラジエータ冷却式オゾン発生器です。 外部冷却水不要、高耐久性・高メンテナンス性を実現。…
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オゾン発生量は40g/h！外部冷却水不要、高耐久性・高メンテナンス性を実現
『ファボゾン40 FOG-RC40G』は、現場でのオゾン利用の利便を 考えた設計の産業用ラジエータ冷却式オゾン発生器です。 当オゾン発生器は、ラジエータ式の冷却水循環器を内蔵しており、 完全…
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手軽に使える！オゾン発生量5g/h、空冷式・コンパクト・高機能
『ファボゾン5 FOG-AC5G』は、空冷式でありながら放電部の 冷却効率の安定性に優れている産業用空冷式オゾン発生器です。 気温の高い環境下においても比較的性能が安定。 信頼性の高いオ…
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コンパクトな筐体！パーティクルの混じらないクリーンなオゾンを利用可能
『ラボゾン15 LOG-LC15G』は、前面ボリュームでのシンプルな操作で、 幅広いオゾン発生条件を実現する研究開発用オゾン発生器です。 オゾン発生量15g/hと40g/hの2機種をラインアッ…
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最高オゾン濃度200g/m3以上！接オゾンガス部メタルフリー化を実現
『ラボゾン40 LOG-LC40G』は、高濃度のオゾンを使いたい方に好適の 研究開発用オゾン発生器です。 コンパクトな筐体内に、研究用オゾン発生器としての 機能を凝縮した「ラボゾン」シリーズ…
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