【製品情報】ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。

高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！

【その他の特長】
■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査）
■欠陥の凹凸を弁別
■全数オートフォーカス
■カスタマイズ対応
■1カセット自動検査対応
■欠陥に対する高精度マーキング（オプション）
■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）