掲載開始日：2023-04-05 00:00:00.0
高反射@193nm IBSコーティングミラー・モニター募集
- ArFエキシマレーザー用高反射ミラー
リトアニアのIBSコート光学系メーカー・OptomanがArFエキシマレーザー（193nm）向けのIBSコーティングミラーを開発しました。入射角45°で>98%の反射率を実現しました。Optomanは本製品をモニターしてくれる方を募集しています。サイズ・入射角は応相談です。以下の点についてレポートしていただければ無償でサンプルを提供します。
◆193nm IBSミラー・モニター条件◆
以下についてフィードバックしてください。
○ 耐久性
○ 反射率
○ その他気になった点
不明な点等ございましたらお問い合わせください。どうぞよろしくお願いいたします。
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