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最終更新日:2023-05-23 14:14:40.0

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掲載開始日:2023-05-19 00:00:00.0

技術情報誌 The TRC News「Ga2O3膜の分析評価技術」

Ga2O3膜の分析評価技術

  • Ga2O3膜の分析評価技術

【要旨】
SiCやGaNより大きなバンドギャップを持つ酸化ガリウム(Ga2O3)は新たなパワーデバイス材料として注目されている。デバイス応用に向けた薄膜成長技術の発展とともに、Ga2O3薄膜の分析評価技術の重要性は益々高まると考えられる。本稿では、サファイア基板上に作製したGa2O3膜の結晶構造解析、および不純物、欠陥評価を行った事例について紹介する。
【目次】
1.はじめに
2.試料
3.分析結果
4.まとめ
【図表】
図1 Ga2O3の結晶構造
図2 試料面法線方向および面内方向のX線回折スペクトル
図3 ラマンスペクトル
図4 Sn 0.1%狙い試料の表面SEM像および断面TEM像
図5 Sn 0.1%狙い試料の制限視野電子回折パターン
図6 Sn濃度のSIMS分析結果
図7 sMIM-C信号プロファイル
図8 CLスペクトル(加速電圧3kV)

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■受託分析 ・分析対象:半導体・実装、ディスプレイ・プリンター、電池・エネルギー、自動車、工業材料、環境、ライフイノベーション、医薬、バイオ ■受託調査 ・調査対象:化学・材料、環境・エネルギー・ライフサイエンス、その他 ■教育事業 ・分析基礎講座:分光分析、顕微鏡、物性分析、医薬分析、クロマトグラフィー、有機分析、発生ガス、電池、実習付き講座等 ■製品販売 ・ピンポイント濃縮プレート

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