技術情報誌The TRC News「シリカ表面のシラノール基の定量」

【要旨】
シリカ表面にはシラノール基と呼ばれる水酸基が結合したケイ素（Si-OH）が存在しており、撥水、親水といった物理的特性の大きな一因を担っている。また、シランカップリング剤を結合させることで表面の化学的特性を改良し、樹脂充填材として汎用されている。したがって、このシリカ表面シラノール基は、シリカ単体の性質に留まらず、材料全体の性能を左右する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。
【目次】（全４ページ）
１．はじめに
２．原理
３．シリカ粒子の反応性シラノール基の定量
４．シリコンウエハの表面シラノール基の定量
５．シラノール基量の加熱による変化
６．まとめ
【図表】
図１～４　表１～６
反応性シラノール基密度
シリカケイ素の構造
固体29Si NMRスペクトル
反応性・非反応性シラノール基密度
シラン処理シリコンウエハのXPSスペクトル
シリコンウエハのシラノール基比率
加熱シリカ粒子のシラノールシラノール基密度
加熱シリコンウエハのシラノール基比率