掲載開始日:2024-06-26 00:00:00.0
【製品情報】蒸気供給モジュール『VDM300』
モデル VDM300
『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』
蒸気供給モジュール(VDM:Vapor Delivery Module)は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。
フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI(グラフィックユーザーインターフェース)により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。
用途
■ シリコン半導体の金属エッチング後プロセス
■ シリコン半導体メタルストリッププロセス
■ 低大気圧環境における超高清浄度加湿
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サービス&サポート
信頼できる製品、専門性の高いサービス!機器を“新品同様の状態”に再生します!
当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお…
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取扱会社
【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計(ローターメータ) ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア(ケーブル、バルブ等)
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