★nano BenchTopシリーズ 薄膜実験装置★

研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を備えます。nanoシリーズはコンパクトボディに機能を凝縮した高性能装置です。
欠陥が少なく良質な成膜に欠かせない要素である高真空環境・十分なT/S調整距離を確保する堅牢で機密性が高いステンレスチャンバー・高真空ポンプを採用。又、全モデルに共通するIntelliDepソフトウエア。直感的で分かりやすいタッチパネル操作で作業者の習熟度を問わずどなたでも操作いただけます。

【nano Benchtopコンパクト薄膜実験装置】
◉ nanoPVD-S10A：RF/DCマグネトロンスパッタリング装置
◉ nanoPVD-T15A：有機膜・金属膜蒸着装置
◉ nanoPVD-ST15A：蒸着・スパッタ混在 複合型薄膜実験装置
◉ ANNEAL：ウエハーアニール装置
◉ nanoCVD：グラフェン/CNT合成装置
◉ nanoEM：高真空EMコーター

※ その他詳細仕様は当社までお問合せ下さい。