掲載開始日:2018-04-03 00:00:00.0
2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(製品・技術開発部門受賞)ファリバス 開発者7名受賞
- 液体材料気化供給システム(ファリバス/FALVS)
2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(製品・技術開発部門受賞)ファリバス 開発者7名受賞
2015年 第12回 超モノづくり部品大賞(奨励賞)受賞製品
2011年 第6回 モノづくり連携大賞(特別賞)受賞対象製品
フジキンの液体材料気化供給システム「ファリバス」の開発者7名(2017年度第7回ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(受賞) [製品・技術開発部門]は、半導体の成膜工程において、原料である液体有機金属をヘリウム(以下 Heと記載します)などのキャリアガスを使わずに直接気化(ガス化)、圧力変動を精密にコントロールし、一定量をシリコンウエハー上に供給して薄膜を形成する世界初のシステムを開発。キャリアガスにより希釈する従来方式と比べ、生産性が大幅に向上(100%濃度での大流量供給、運用コスト低減、プロセス時間短縮、システム小型化)、ウエハーの大口径化や回路の高集積化等、次世代半導体の製造に貢献。
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2015年 第12回 超モノづくり部品大賞(奨励賞)受賞製品
2011年 第6回 モノづくり連携大賞(特別賞)受賞対象製品
取扱会社
株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
<半導体製造装置用超精密バルブ機器> 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 <宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器> フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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