掲載開始日:2018-12-14 00:00:00.0
15年連続受賞!2018年”超”モノづくり部品大賞を受賞いたしました。
第15回”超”モノづくり部品大賞
(主催:モノづくり日本会議様/日刊工業新聞社様)において、
フジキンの次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブが
電気・電子部品賞を受賞しました。
本製品は半導体製造の前工程における成膜装置やエッチング装置に、
有機金属などのプロセスガスを
供給するガス供給システムで用いられます。
半導体の高集積化が進むにつれ、バルブも今まで以上の耐久性、
流量精度が求められます。ダイヤフラムの材質、
ダイヤフラムを保持・押下する周辺部品の形状材料と設計、
製法を新たにすることで、
次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブの開発に成功しました。
関連製品
システム【集積化ガスシステム】IGS(FS)
<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。
<特長> 1.基本技術の高性能化。 2.小型化。 3.信頼性の向上。 4.施工性、メンテナンス性の向上。 5.標準化の推進。 6.コストダウン。
関連カタログ
取扱会社
株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
<半導体製造装置用超精密バルブ機器> 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 <宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器> フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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