掲載開始日：2019-04-10 00:00:00.0
VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュールをリリース
- VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュール
先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。
VDM300の特長
１．流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気)
２．優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
３．プラント内純水供給装置に直接接続
４．最低温度（非過熱状態）でも動作可能
５．水洗および排水用に最適な設計
６．EtherCATデジタルコミュニケーション
７．Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
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関連カタログ
取扱会社
【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）
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