スリム型100nm分解能ステージ（40mm）
エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリ…
メーカー・取扱い企業： シグマ光機株式会社
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