燃焼式排ガス処理装置エア・ウォーター・メカトロニクス

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の
フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより
処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の
ウェットスクラバーにて後処理します。

【特長】
・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。
・最大処理流量500ℓ/min（4ポートまで対応可）の排ガスに対応可能です。
・壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止します。
・燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現しました。
・ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる
　循環ポンプトラブルを防止します。
・各種センサーを装備することにより、安全対策は万全です。
・タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易です。

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関連リンク - http://www.japan-pionics.co.jp/product/exhaust_gas…

基本情報燃焼式排ガス処理装置

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取扱企業燃焼式排ガス処理装置

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

当社特許「パラジウム膜透過法」の技術を基にした「水素高純度精製装置」の製造・販売ヲスタートしました。その後、触媒技術や吸着技術を確立して、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム等の各種ガスの精製装置の製造・販売に展開しました。また、特殊材料ガスの精製器「パイオフアイン」や毒性ガスを除害する「排ガス処理装置「パイオクリン」の開発・製品化を展開しております。