エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 アンモニア分解除害装置
- 最終更新日：2020-02-13 11:10:09.0
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GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。
本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。
常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス性向上、
ランニングコスト及び環境負荷の低減を可能に致しました。
【特長】
・本装置はNH3を触媒分解により窒素と水素に分解、完全無害化します。
・MOを含むGaN製造プロセス排ガス中の有毒ガスを効率的かつ安全に除害します。
・酸化法によるNH3除害などで問題となるNOxの発生は全くありません。
・火炎式（燃焼式）でない為、プロパン供給設備や排水設備は必要ありません。
（但し、A20分解筒は水冷式を採用しております。）
・除害後のガス中は除害対象ガス濃度ACGIH/TLV-TWA値以下を保証します。
・吸着再生型は後処理筒の除害剤交換の必要がなく、ランニングコストの低減ができます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報アンモニア分解除害装置
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| 納期 | お問い合わせください |
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カタログアンモニア分解除害装置
取扱企業アンモニア分解除害装置
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当社特許「パラジウム膜透過法」の技術を基にした「水素高純度精製装置」の製造・販売ヲスタートしました。その後、触媒技術や吸着技術を確立して、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム等の各種ガスの精製装置の製造・販売に展開しました。また、特殊材料ガスの精製器「パイオフアイン」や毒性ガスを除害する「排ガス処理装置「パイオクリン」の開発・製品化を展開しております。
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