エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 吸着再生式排ガス処理装置
- 最終更新日：2020-02-13 11:10:09.0
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エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、
従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。
【特長】
・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。
・水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。
・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。
・気液接触部での詰まりが少ない構造です。
・吸着筒の自動交互運転により連続除害が可能です。
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基本情報吸着再生式排ガス処理装置
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カタログ吸着再生式排ガス処理装置
取扱企業吸着再生式排ガス処理装置
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当社特許「パラジウム膜透過法」の技術を基にした「水素高純度精製装置」の製造・販売ヲスタートしました。その後、触媒技術や吸着技術を確立して、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム等の各種ガスの精製装置の製造・販売に展開しました。また、特殊材料ガスの精製器「パイオフアイン」や毒性ガスを除害する「排ガス処理装置「パイオクリン」の開発・製品化を展開しております。
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