川口液化ケミカル株式会社 コンパクトディジタル マスフローコントローラ

300mmウエハープロセスに対応

ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ

基本情報コンパクトディジタル マスフローコントローラ

【特徴】
■メーカー:日立金属株式会社
■仕様:精度±0.5% 応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ)
■ガス種:ご注文時にご指定
■流量範囲:フルスケール 10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定
■本体材質:SUS316L、内面特殊電解研磨仕様
■継手サイズ:1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能
■ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもご用意

□その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 SFC1480FMC/MO
用途/実績例 詳細は、お問い合わせ下さい。

取扱企業コンパクトディジタル マスフローコントローラ

川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

弊社は高圧ガスおよびガス機器を販売していおります。ガスを必要とする用途によりさまざまなガス供給設備をご用意させていただきます。もちろん現場での施工を伴う配管工事も設計、組み立て、工事まで承ります。また、高圧ガス以外にも液体ヘリウムや液体窒素、冷凍機による低温機器・液化ガス容器、実験装置、クライオスタットまで製作いたします。更には、真空領域の機器も販売しておりますので、真空ポンプから真空チャンバー、真空装置まで製作いたします。もちろん真空ポンプのメンテナンスや真空xガスの異種製作継ぎ手、異質材継ぎ手までご用意いたします。製作品はヘリウムリークテストを行い、漏れのない商品をご提供させていただくことが可能です。ぜひともご相談ください。

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川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

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