【分析事例】バイポーラトランジスタの拡散層構造評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ｐｎ判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能

市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。
エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。
AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。

基本情報【分析事例】バイポーラトランジスタの拡散層構造評価

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用途／実績例	LSI・メモリの分析です

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一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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