【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

FFTM法による格子像解析

Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFＴＭ解析により、(1)画像のx, ｙ方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。
化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。

基本情報【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

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用途／実績例	測定法：TEM 製品分野：照明・光デバイス分析目的：構造評価・応力・歪み評価

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【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

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取扱企業【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

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