【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

XPS：X線光電子分光法など

高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。

■適用例
・半導体電極材料
　剥離面の評価等には二次汚染、酸化の影響を抑えて評価ができます。
・有機EL材料
　開封から不活性ガス雰囲気下で作業を行うことで、材料の劣化を防ぎます。
・Li等電池材料
　Li等N2雰囲気不可の場合はAr雰囲気で処理を行う等の対応も可能です。

基本情報【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定

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用途／実績例	化学結合状態評価・膜厚評価

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【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定_B0110

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取扱企業【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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