センシリオン株式会社
最終更新日：2023-10-06 16:40:28.0
マスフローコントローラー【製品カタログ】
基本情報マスフローコントローラー【製品カタログ】
最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー
センシリオンのマスフローコントローラーは、幅広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御できるのが特長です。革新的な CMOSens技術を基礎とするマスフローコントローラーの心臓部は、単一チップ上に必要な信号処理回路と一緒に集積された熱量測定マイクロセンサー (MEMS) です。流量は熱測定原理を使用して測定され、デジタル制御回路により効率的に制御されます。この独自に集積された技術アプローチにより、非常に魅力的なコストで優れたパフォーマンスと信頼性を実現しています。実装後、センシリオンのマスフローコントローラーをフィールドで再校正する必要はありません。
【特長】
• 優れた繰り返し精度 (0.1％ セットポイント)
• 高精度 (0.8％ セットポイント)
• 幅広い制御範囲 (1000：1以上)
• 超高速設定時間 (50 ms 未満)
• ドリフトなしかつフィールドでの再校正不要
• 平均故障間隔 (MTBF) 169年
• オプションのマルチガス/流量レンジ
• 小型・軽量
※その他詳細についてはカタログをダウンロードください。
マスフローコントローラー
センシリオン社の全てのマスフローコントローラーはパテント取得済みのCMOSens 技術を用いています。
シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体化しています。デジタルでキャリブレートされ温度補正されたセンサ信号は直接CMOSensチップ上でPWM信号に変換され、バルブを制御する高速のアナログ制御回路で使用されます。この結果、非常に高精度、速い設定時間、広いダイナミック・レンジが実現されます。すべてのデバイスはNISTトレーサビリティーに基づき校正されています。 （詳細を見る）
取扱会社 マスフローコントローラー【製品カタログ】
センシリオンは、効率・健康・安全性・快適性を向上させるセンサーとセンサーソリューションを専門とする世界有数のメーカーです。 当社のセンサーは、さまざまな環境パラメータとフローを精密かつ確実に測定するために使われます。先進のセンサー技術で世界をよりスマートにすることを目標に掲げています。イノベーションのパイオニアとして、当社は自動車、工業、医療技術、家電市場の取引先やパートナーそれぞれの特定のニーズに対応するソリューションと、費用対効果の高い大量生産向けの高品質製品を開発しています。 センシリオンではMEMS技術を応用したセンサー群を取り扱っております。 温湿度センサー、液体フローセンサー、ガスフローセンサー、マスフローコントローラー、微差圧センサー、CO2センサー、PM2.5センサーといった幅広いセンサーを取り扱っています。
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