シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。
フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。
位置決めの事なら何でもご相談ください。
■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。
■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。
詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）
◆大気用位置決め装置
自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。
◆真空対応システム
光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現してお ります。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 精密な位置決めが必要な研究、開発、検査 光学分野の研究用途 半導体描画装置の試料ステージ 顕微鏡ステージ |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-901U | 1nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-601A | 5nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-501A | 10nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-401 | 50nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-101 | 100nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FS-1020UPX | 20mmストローク、1nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020SPX | 20mmストローク、5nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020PX | 20mmストローク、10nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020X | 20mmストローク、100nmまたは50nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
詳細情報総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）
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10nmフィードバックステージシステム
内蔵スケールに対して10nm分解能で動作する
位置決め装置
ストロークは20~150mmまで
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フィードバックステージ
スケール内蔵のフィードバックステージ
様々な形状、ストロークを選択できます。
カタログ総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）
取扱企業総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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