フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版5.0

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。
ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ１台で行うことができます。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。

『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。

独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ
(*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。

フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。
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光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。

フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、

位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。
動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。


(*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。

『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。

独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ （詳細を見る）

真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。
そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。

フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、
ストローク範囲は『100mm』となっています。


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光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。

フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。
FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。
ストロークは『40mm』となっています。
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情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。

【Q&A掲載例】
■ステージとストロークのサイズはどのくらい？
■簡単に通信する方法は？シーケンサとの接続は可能か？
■オープンステージとフィードバックステージの違いは？
■位置決め時間はどのくらいか？
■どのようなところで使用されているか？…

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい  （詳細を見る）

独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。
ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。
可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。）
コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。
各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。

真空対応品もラインナップしております。
真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。 （詳細を見る）

当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および
真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。

フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、
ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。

【大気用システムの特徴】
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。
半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。

【真空対応システムの特徴】
創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に
真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。

※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。
　ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。
　また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。 （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。

長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。
ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。

※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ

■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

[新型フィードバックステージコントローラの特長]
従来品との互換性を残しつつ、
・通信コマンド数の増加
・ティーチング機能追加
・USBインターフェース追加
・パラメータ数増加
などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。

[高分解能位置決め装置の特長]
フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。
フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。

[導入メリット]
・高い位置決め再現性による作業効率の向上
・高分解能動作による微調整が可能
・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能

詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。

□ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□ （詳細を見る）

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。
フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

位置決めの事なら何でもご相談ください。

■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。

■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。
そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。

自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-111又はFC-411との組み合わせ （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペクトル等）が必要な場合に有効です。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。

ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。

フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。 （詳細を見る）

位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。

ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。
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1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。
ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。
コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。 （詳細を見る）

5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
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10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。
10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージにスローダウンセンサが搭載されており、高速にロングストロークを高分解能に位置決めすることができるため、測定データの範囲が広くすることができます。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 （詳細を見る）

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。
ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。

ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。

フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。
ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。
ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。 （詳細を見る）

位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、

位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ （詳細を見る）

■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、
高分解能で再現性に優れています。
ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。

■長ストローク
最大400mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。

■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、
コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。

■可動タイプ
直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。

■長ストローク
最大200mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。

■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。

■可動タイプ
直動だけでなく昇降タイプや微小回転もラインナップしております。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、
高分解能で再現性に優れています。

■長ストローク
ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。

■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、
コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。
 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。
フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

位置決めの事なら何でもご相談ください。

■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。

■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）