非接触・非破壊インプラモニター　PMR-3000 日本セミラボ

インプラ後のドーズ量モニタリングとアニール処理前後のジャンクション深度測定を非接触・非破壊で検査します。

【装置の原理】

■Generation Laserは過剰少数キャリアを発生させ、明らかなダメージが存在するところを熱します
■過剰少数キャリア勾配は屈折勾配のインデックスを形成します
■Probe Laserはジャンクション深さ、ドーズレベル、PAI深さを測定するために屈折勾配インデックスまたは表面の熱情報を利用します
■Generation Laserは2kHzに変調され、これにより、優れたS/N比を実現します
■長波長のProbe Laserはサンプルを加熱しません

関連リンク - http://www.semilab-j.jp/

基本情報非接触・非破壊インプラモニター　PMR-3000

■非接触、非破壊測定
　　●インプラのドーズ量モニタリング
　　●ＰAI深さ測定
　　●ジャンクション深さ測定
■高感度
■高再現性、信頼性のあるオペレーション
■全自動・簡単操作
■１＆２ロードポート及びFOUPオープナー対応
■Cognex社製パターン認識システム標準装備

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	PMR-3000
用途／実績例	■非接触、非破壊測定　　●インプラのドーズ量モニタリング　　●ＰAI深さ測定　　●ジャンクション深さ測定

お問い合わせ

取扱企業非接触・非破壊インプラモニター　PMR-3000

日本セミラボ株式会社新横浜本社

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