株式会社マツボー 三次元光屈折率・膜厚測定装置 プリズムカプラ SPA-3DR

試料のX軸・軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定!FPD用フィルムやSiO2等の3次元複屈折率測定に

Sairon Technology, Inc. 三次元光屈折率・膜厚測定装置 プリズムカプラ SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルム、SiO2等の3次元複屈折率測定などの用途に適しています。搭載レーザーは405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能、複屈折率測定は、X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定します。また、多層薄膜で、2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定も可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報三次元光屈折率・膜厚測定装置 プリズムカプラ SPA-3DR

【特徴】
○測定対象:透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体
○搭載レーザー:405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能
○複屈折率測定:X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定
○多層薄膜:2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定

【仕様】
○光屈折率:1.0 -2.45±(0.001) at 405–1550nm
○回転テーブル:回転範囲:180°(分解能:0.05°)
○光屈折率温度依存測定:室温~150℃
○膜厚検出範囲:0.4um-150um±(0.5%)

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用途/実績例 【用途】
○FPD用フィルム、SiO2等の3次元複屈折率測定

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カタログ三次元光屈折率・膜厚測定装置 プリズムカプラ SPA-3DR

取扱企業三次元光屈折率・膜厚測定装置 プリズムカプラ SPA-3DR

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