三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DR マツボー

試料のX軸・軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定！FPD用フィルムやSiO2等の３次元複屈折率測定に

Sairon Technology, Inc. 三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルム、SiO2等の３次元複屈折率測定などの用途に適しています。搭載レーザーは405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能、複屈折率測定は、X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定します。また、多層薄膜で、2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定も可能です。
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基本情報三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DR

【特徴】
○測定対象：透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体
○搭載レーザー：405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能
○複屈折率測定：X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定
○多層薄膜：2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定

【仕様】
○光屈折率：1.0 -2.45±(0.001) at 405–1550nm
○回転テーブル：回転範囲：180°（分解能：0.05°）
○光屈折率温度依存測定：室温～150℃
○膜厚検出範囲：0.4um-150um±(0.5%)

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用途／実績例	【用途】 ○FPD用フィルム、SiO2等の３次元複屈折率測定 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。