三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DR

Sairon Technology, Inc. 三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルム、SiO2等の３次元複屈折率測定などの用途に適しています。搭載レーザーは405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能、複屈折率測定は、X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定します。また、多層薄膜で、2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定も可能です。
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