オート式露光装置ウシオライティング

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡
従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡
特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡
オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での露光が可能です｡

基本情報オート式露光装置

主な特長
1.定評のある500Wマルチライト光源を搭載しています｡
2.基板供給､アライメント､露光､基板排出を自動で行うとともに､ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現しています｡
3.マスクとウエハの平行出しは､補正機能板で露光ごとに可能です｡
4.レシピにより登録された10個のリトライ座標を順番にサーチする､画像処理インテリジェントサーチ機能を採用しています｡
5.ファースト露光用のラインアライメント機能を搭載しています｡
6.露光方式は､ソフトコンタクト､プロキシミティ､ハードコンタクト(真空密着)から選択できます｡
7.2インチウエハと4インチウエハの段取り換えも容易に行えます｡
8.顕微鏡のハロゲン照明は､画像処理により､つねに最適な明るさで保たれるとともに､低コントラストマークに対応します｡
9.トラブルのエラーメッセージを操作パネルに表示します｡

価格情報	オープン
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	UPE-1225ATL
用途／実績例	エレクトロニクス分野 ●マイクロデバイス－半導体､各種デバイス､センサ(ウェハ､ガラス基板などのフォトリソ工程)など ●LED

詳細情報オート式露光装置

: 製品の主な特長
基板供給､アライメント､露光､基板排出を自動で行うとともに､ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現

カタログオート式露光装置

オート式露光装置

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取扱企業オート式露光装置

ウシオライティング株式会社

一般照明､特殊照明･ランプでは､LED電球･ライト､ステージ･スタジオ･演出照明用ランプから､検査･特殊照明用ランプ､投光器､赤外線ヒータ､セキュリティ用赤外線LED照明､植物育成用LED照明などにより､ユーザが必要とする｢光｣に対して､最適なランプ､光源で応えます｡産業システム・機器では､露光装置をはじめとする「光」を応用した製品､射出成形機､プラスチック関連機器・素材､継手､チューブなど広範なプラスチック関連製品､各種ロボット､自動組み立て機､ストローアプリケータ､外観検査装置などのFA･食品・包装関連システムの販売をつうじて､ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。