ウシオライティング株式会社
最終更新日：2014-09-08 15:06:39.0
オート式露光装置ver.1.0
基本情報オート式露光装置
190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
スペックシートです｡
製品の詳細資料については､別途､ご請求ください｡
オート式露光装置
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡
従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡
特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡
オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での露光が可能です｡ （詳細を見る）
取扱会社 オート式露光装置
一般照明､特殊照明･ランプでは､LED電球･ライト､ステージ･スタジオ･演出照明用ランプから､検査･特殊照明用ランプ､投光器､赤外線ヒータ､セキュリティ用赤外線LED照明､植物育成用LED照明などにより､ユーザが必要とする｢光｣に対して､最適なランプ､光源で応えます｡ 産業システム・機器では､露光装置をはじめとする「光」を応用した製品､射出成形機､プラスチック関連機器・素材､継手､チューブなど広範なプラスチック関連製品､各種ロボット､自動組み立て機､ストローアプリケータ､外観検査装置などのFA･食品・包装関連システムの販売をつうじて､ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。
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