マイクロメーターによる高精度位置合せでオープンショート検査機をサポート
コンパクト！安価！
3軸方向の小型微調整用精密ステージで精緻な位置合わせが可能。
オープンショート検査機を強力にサポートします！
【特長】
■マイクロメーターによる高精度位置合わせができます。
■テーブル寸法 60×60［mm］
■外形寸法 123×120×30［mm］
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基本情報XYθテーブル [マイクロヘッド方式]
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カタログXYθテーブル [マイクロヘッド方式]
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