日本セミラボ株式会社 Junction Photo Voltage(JPV)
- 最終更新日：2020-07-17 08:56:43.0
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JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定！
JPV法（ジャンクション・フォト・ボルテッジ法）を用いているため、高速で再現性の良いマッピング測定が可能です。
【特徴】
- 非接触、非破壊測定
- プローブの調整は不要
- 測定のための特別な試料準備は不必要
- 表面に酸化膜やコーティングが存在しても測定可能
- 空間分解能の高い分布測定（マッピング）が高速で可能
- 再現性の高い測定が可能
- セミラボ社のベンチトッププラットフォームWT-2000、WT-2500、WT-3000やインラインのウェハーテスト装置に組みつけが可能
基本情報Junction Photo Voltage(JPV)
【測定項目】
- シート抵抗 (Rs)
- 接合（空乏層）の容量 (Cd)
- 漏れ電流 (ジャンクション・リーク)
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※ご相談ください |
| 型番・ブランド名 | JPV |
| 用途／実績例 | 半導体プロセス管理で多数の実績がございます |
取扱企業Junction Photo Voltage(JPV)
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■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
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