日本セミラボ株式会社 非接触CV測定装置 Cn0CV
- 最終更新日：2021-04-27 15:51:17.0
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非接触式の重金属汚染・CV/IV・膜評価装置。 鉄濃度測定の感度はDSPVを採用することでE8を実現！
世界に400台以上の実績を持つ非接触式の重金属汚染・CV/IV・膜評価装置です。
鉄濃度測定の感度はDSPVを採用することでE8を実現し、近年のCMOSイメージセンサーの歩留まり向上に寄与しております。
化合物半導体のCV測定が可能です。非接触で面内の濃度分布、プロファイル測定が可能です。
基本情報非接触CV測定装置 Cn0CV
【特徴】
■非接触CV/IVインライン測定
■超高感度汚染管理（E8レベル鉄濃度測定）
■パタンモニター測定可能（SLモデル）
■PDM
【主な測定・評価項目】
■汚染管理
-DSPVによる拡散長測定
-鉄濃度測定（E8レベル）
■膜評価
- 電気的膜厚（CET/EOT)
- フラットバンド電圧（VFB)
- 界面準位等（Dit)の測定
- リークIV測定
- Epi抵抗率測定
- High-k評価
- Low-k評価
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Cn-CV |
| 用途／実績例 | ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定（E8レベル） ■膜評価 - 電気的膜厚（CET/EOT) - フラットバンド電圧（VFB) - 界面準位等（Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価 |
詳細情報非接触CV測定装置 Cn0CV
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ドーパント濃度測定（NSD)
測定データイメージ
カタログ非接触CV測定装置 Cn0CV
取扱企業非接触CV測定装置 Cn0CV
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■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
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