超高感度DLTS　バルク内欠陥・界面準位測定装置日本セミラボ

不良及び結晶欠陥の解析に有効！幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備

『DLS-83D/1000』は、温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能な
バルク内欠陥・界面準位測定装置です。

「DLS-1000」は、10^8cm3レベルのバルク内欠陥、界面準位の高感度な
測定に対応。ライブラリーを標準装備しておりますので解析が容易に行えます。

高感度アナログ／デジタル（測定はアナログ、データ処理はデジタル）
ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーター
フレンドリーなソフトを装備しています。

【特長】
■高感度な汚染検出が可能（2x10^8atoms/cm3）
■幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備
■温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能
■世界で100台以上の豊富な納入実績

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.semilab-j.jp/model/dls-1000/

基本情報超高感度DLTS　バルク内欠陥・界面準位測定装置

【その他の特長】
■簡単に深さ方向のプロファイル、トラップの分布状態、元素及び欠陥の特定ができる
■不良及び結晶欠陥の解析に有効
■測定結果をライブラリーにある汚染物質のDLTS信号の羅列と比較することで、
　容易に汚染物質の特定が可能
■高感度アナログ／デジタルロックイン平均法を採用したユニークなシステム
■オペレーターフレンドリーなソフトを装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	DLS-1000
用途／実績例	【主な測定・評価項目（一部）】 ■捕獲断面積測定 ■電界依存性測定 ■トラップ深さ測定 ■MOS測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業超高感度DLTS　バルク内欠陥・界面準位測定装置

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。