超高感度DLTS　バルク内欠陥・界面準位測定装置【DLS-83D/1000】

高感度な汚染検出が可能で、幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備したDLTS測定システムです。

ウェハープロセス時に生じる金属汚染及びダメージ等による結晶欠陥を、電気的に高感度に測定するシステムです。
DLTS(Deep Level Transient Spectroscopy)は、半導体における深い準位(トラップ)を測定する方法です。容量の過渡応答を利用して禁制帯中のエネルギーと捕獲断面積が分かります。
温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能であり、簡単に深さ方向のプロファイル、トラップの分布状態、元素及び欠陥の特定ができ、不良及び結晶欠陥の解析に有効です。測定結果をライブラリーにある汚染物質のDLTS
信号の羅列と比較することで、容易に汚染物質の特定が可能です。
高感度アナログ／デジタル（測定はアナログ、データ処理はデジタル）ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーターフレンドリーなソフトを装備しております。
世界で100台以上の豊富な納入実績を誇る本製品を、是非ご活用ください。

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