株式会社イオンテクノセンター 表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)

物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行っています

主な装置は「HR-TEM」「Q-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。

【表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)】
○数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して放出される2次イオンの質量分析によって、水素を含む全元素の組成分析を行う手法。

○高感度の元素分析や低エネルギーイオンによる深さ分解能の優れた測定が可能。

●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

基本情報表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)

【特長】
○数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して放出される2次イオンの質量分析によって、水素を含む全元素の組成分析を行う手法。

○高感度の元素分析や低エネルギーイオンによる深さ分解能の優れた測定が可能。

●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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用途/実績例 ・ドーパントプロファイル評価
・ 薄膜組成分布評価
・ 表面・断面の元素面分布評価

カタログ表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)

取扱企業表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)

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株式会社イオンテクノセンター

1.受託物理分析 2.イオン注入加工

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