株式会社イオンテクノセンター 表面分析 X線光電子分光分析（ESCA・XPS）
- 最終更新日：2019-03-18 11:47:39.0
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物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行っています
主な装置は「HR-TEM」「Ｑ-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。
【表面分析 X線光電子分光分析（ESCA・XPS）】
○X線をサンプルに照射して表面から数nmの深さから放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法。
○絶縁物の表面分析に適しており、Arイオンエッチングによる深さ分析や10μm径のビームによる局所分析が可能。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報表面分析 X線光電子分光分析（ESCA・XPS）
【特長】
○X線をサンプルに照射して表面から数nmの深さから放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法。
○絶縁物の表面分析に適しており、Arイオンエッチングによる深さ分析や10μm径のビームによる局所分析が可能。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください
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| 用途／実績例 | ・多層膜の組成深さ分布評価 ・多層膜の界面状態評価 ・ 表面の元素・化学結合状態評価 ・ 表面の元素面分布評価 |
カタログ表面分析 X線光電子分光分析（ESCA・XPS）
取扱企業表面分析 X線光電子分光分析（ESCA・XPS）
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1.受託物理分析 2.イオン注入加工
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