【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバー内で使用可能です。
リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
基本情報真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：60mm×60mm
○テーブル移動量：20mm
○対応真空度：10-４Pa
○耐荷重：49N
○最小分解能：1nm
○最大移動速度：２mm/sec
○対応コントローラ：FC-911
●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | FS-1020UPX(V) |
| 用途／実績例 | X線利用技術（放射光の集光等） 半導体関連（描画範囲のつなぎ合わせ等） 様々な先端研究に使用されています。 |
カタログ真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
取扱企業真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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