シグマ光機株式会社 真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバー内で使用可能です。

リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

基本情報真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
 リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:60mm×60mm
○テーブル移動量:20mm
○対応真空度:10-4Pa
○耐荷重:49N
○最小分解能:1nm
○最大移動速度:2mm/sec
○対応コントローラ:FC-911

●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名 FS-1020UPX(V)
用途/実績例 X線利用技術(放射光の集光等)
半導体関連(描画範囲のつなぎ合わせ等)
様々な先端研究に使用されています。

カタログ真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

取扱企業真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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