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最終更新日:2016-11-11 15:04:19.0

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  • カタログ発行日:2016/10

真空対応1nmフィードバックステージシステム カタログ

基本情報真空対応1nmフィードバックステージシステム カタログ

1nm分解能で位置決め!リニアエンコーダ内蔵、真空動作可能

◆ボールねじ駆動で1nm分解能を達成!
◆弊社開発のリニアスケールを内蔵し、自社独自開発のフィードバック制御回路を搭載!
◆対応真空度は10^-4 Paで真空チャンバー内で使用可能
◆フィードバックステージは薄型で軽量の設計
◆直動ストロークは20mm,40mm,50mmの3種類をラインナップ
◆リニアスケールがステージ内にビルトイン!バックラッシュ等の機械誤差を無視できる!

真空対応1nmフィードバックステージシステム

真空対応1nmフィードバックステージシステム 製品画像

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 (詳細を見る

1nmフィードバックステージコントローラ FC-911

1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 製品画像

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。
ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。
コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。 (詳細を見る

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY 製品画像

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。
ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。
ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。 (詳細を見る

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V) 製品画像

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。 (詳細を見る

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V) 製品画像

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が1台でできます。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。 (詳細を見る

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V) 製品画像

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバー内で使用可能です。

リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
 (詳細を見る

1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 (詳細を見る

総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版

総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版 製品画像

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。
フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

位置決めの事なら何でもご相談ください。

■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。

■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 (詳細を見る

小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』

小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』 製品画像

情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。

【Q&A掲載例】
■ステージとストロークのサイズはどのくらい?
■簡単に通信する方法は?シーケンサとの接続は可能か?
■オープンステージとフィードバックステージの違いは?
■位置決め時間はどのくらいか?
■どのようなところで使用されているか?…

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい  (詳細を見る

取扱会社 真空対応1nmフィードバックステージシステム カタログ

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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