シグマ光機株式会社 真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が1台でできます。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。

基本情報真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
 リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:80mm×80mm
○テーブル移動量:40mm
○対応真空度:10-4Pa
○耐荷重:49N
○最小分解能:1nm
○最大移動速度:2mm/sec
○対応コントローラ:FC-911

□ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□

価格帯 お問い合わせください
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型番・ブランド名 FS-1040UPX(V)
用途/実績例 X線利用技術(放射光の集光等)
半導体関連(描画範囲のつなぎ合わせ等)
様々な先端研究に使用されています。

カタログ真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

取扱企業真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

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