[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。
自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。
基本情報真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：120mm×120mm
○テーブル移動量：50mm
○対応真空度：10-４Pa
○最小分解能：1nm
○最大移動速度：２mm/sec
○対応コントローラ：FC-911
□ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください □
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1050UPX(V) |
| 用途／実績例 | 創業以来、主に特注にて真空対応ステージを製作し御提供してきました。10年以上、様々な用途（例：走査型電子顕微鏡用など）に御使用頂いております。 ここで、真空対応ステージを標準品としてラインナップすることを発表致します。2013年度より発売しております。今後も標準品を御提供すると共に、特注品にも御対応致します。 |
カタログ真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
取扱企業真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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