株式会社MSAファクトリー ウエハホットチャック「PH-101T」
- 最終更新日：2013-08-28 18:29:57.0
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貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101T」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など 極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。
ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。
ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報ウエハホットチャック「PH-101T」
【仕様】
○温度制御範囲：室温～300℃
○チャック面サイズ：φ4"mm
○温度精度：±1.5%
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| 価格情報 |
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|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ウエハホットチャック |
カタログウエハホットチャック「PH-101T」
取扱企業ウエハホットチャック「PH-101T」
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数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。
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