ウエハホットチャック「PH-101T」

貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！

「PH-101T」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など　極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。

ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。

ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。

●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。