日本ドナルドソン株式会社 インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」
- 最終更新日：2024-06-20 09:06:15.0
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「リソガードPOU（Point-Of-Use/ 局所）フィルター」 は、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルターです。
物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集します。
半導体製造・各種開発実験/ 評価試験、レーザー加工機・光学系機器の保護といった、より高純度のＣＤＡ（クリーンドライエア）、不活性ガス、圧縮空気の供給が必要とされるプロセスでのご使用に好適です。
【主な特長】
■圧縮空気、ＣＤＡ、Ｎ２、その他不活性ガス内の汚染物質除去用として使用可能
■フィルタ本体ケースにはステンレススチール（SUS304）を使用
■物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集
■ガス状の汚染物質除去と併せて、高いパーティクル除去機能を有す
詳しくはダウンロードカタログ（英語版）をご覧いただくか、お問い合わせください。
基本情報インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」
【仕様】
○供給エア： 圧縮空気、ＣＤＡ（クリーンドライエア）、Ｎ２、その他不活性ガス
○捕集対象： 酸性・塩基性・有機ガス
○捕集方式： 物理および化学吸着
○フィルター本体ケース材質： ステンレススチール（SUS304）
○最大使用圧力： 150psi/10bar
●詳しくはダウンロードカタログ（英語版）をご覧いただくか、お問い合わせください。
| 用途／実績例 | 【用途】 ○局所フィルタとして →半導体製造・各種開発実験/ 評価試験、レーザー加工機・光学系機器の保護といった、より高純度のＣＤＡ（クリーンドライエア）、不活性ガス、圧縮空気の供給が必要とされるプロセスでのご使用に好適です。 ●詳しくはダウンロードカタログ（英語版）をご覧いただくか、お問い合わせください。 |
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カタログインラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」
取扱企業インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」
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